溶膠型硅片拋光劑

基本信息

申請?zhí)?/td> CN92108497.8 申請日 -
公開（公告）號 CN1082584A 公開（公告）日 1994-02-23
申請公布號 CN1082584A 申請公布日 1994-02-23
分類號 C09G1/18 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 劉鳳偉;曹國琛;孫木根 申請（專利權(quán)）人 上海有色金屬研究所
代理機構(gòu) 上海第二專利事務(wù)所 代理人 西江
地址 上海市600-402信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子工業(yè)領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料，此材料的特點在于適用于超大規(guī)模集成電路的半導(dǎo)體器件上，拋光精度高，且使用方便。此溶膠型硅片拋光劑的最佳配方為：多晶硅還原爐尾氣冷凝回收液99.25％，表面羥基化添加劑0.125％，凝膠轉(zhuǎn)化溶膠添加劑0 5％，穩(wěn)定活化添加劑0.025％，調(diào)節(jié)pH添加的量以pH值達12.5為準(zhǔn)。