一種探針結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110992579.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113625018B 公開(kāi)（公告）日 2022-05-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113625018B 申請(qǐng)公布日 2022-05-06
分類(lèi)號(hào) G01R1/067（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 金永斌;賀濤;朱偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)興浦路200號(hào)5#101、102、201、202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種探針結(jié)構(gòu)屬于半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域；該探針結(jié)構(gòu)包括限位板，貫穿限位板并成陣列分布的探針，所述探針能夠繞自身旋轉(zhuǎn)，探針在限位板上方設(shè)置有齒輪，在與齒輪同平面上，設(shè)置有齒條框架，所述齒條框架由多個(gè)平行的齒條構(gòu)成，所述齒條與齒輪嚙合，所述探針的下方設(shè)置有彎曲結(jié)構(gòu)，所有探針的彎曲結(jié)構(gòu)向同一方向彎曲；本發(fā)明探針結(jié)構(gòu)，配合插座結(jié)構(gòu)，降低了探針與插座的對(duì)準(zhǔn)難度，不容易損壞探針，實(shí)現(xiàn)了拆裝過(guò)程可逆，有利于進(jìn)行重復(fù)性測(cè)試，同時(shí)還能夠解決大電流下探針之間放電而造成短路的問(wèn)題。