測試探針清潔方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011365614.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112462104B 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN112462104B 申請公布日 2022-03-04
分類號 G01R1/067（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 賀濤;金永斌;丁寧;朱偉 申請（專利權(quán)）人 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)興浦路200號5#101、102、201、202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 測試探針清潔方法，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明為了解決現(xiàn)有的如何有效代替人工清潔和如何將探頭徹底清潔干凈的問題。一種測試探針清潔裝置，包括清潔構(gòu)件、夾持構(gòu)件、測試插座、測試基座和測試探針；所述清潔構(gòu)件上方設(shè)置有夾持構(gòu)件，所述清潔構(gòu)件下方設(shè)置有測試插座，所述測試插座安裝在測試基座上，所述夾持構(gòu)件能夠通過傳動機(jī)械臂移動控制測試插座上方的清潔構(gòu)件，能夠使清潔構(gòu)件移動至測試插座內(nèi)，并與測試插座內(nèi)的測試探針的探頭貼合抵靠。本發(fā)明解決了現(xiàn)有的如何有效代替人工清潔和如何將探頭徹底清潔干凈的問題，進(jìn)而達(dá)到了有效代替人工清潔，同時保證了清潔質(zhì)量和測試效率。