測(cè)試探針清潔方法的摩阻刮除方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210126256.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114405887A 公開（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN114405887A 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類號(hào) B08B1/00（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 賀濤;金永斌;丁寧;朱偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)興浦路200號(hào)5#101、102、201、202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明測(cè)試探針清潔方法的摩阻刮除方法涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域；具體為：通過進(jìn)氣管對(duì)套管上端側(cè)壁上開有的進(jìn)氣孔輸入氣體，在壓力的作用下推動(dòng)活塞向下移動(dòng)，推動(dòng)傳動(dòng)桿克服復(fù)位彈簧的彈力作用，進(jìn)而帶動(dòng)移動(dòng)片向下移動(dòng)，通過彈性件推動(dòng)刮除件向下移動(dòng)，向下移動(dòng)的刮除件與梅花探頭的上端面棱角處相對(duì)應(yīng)，并在彈性件的彈力的作用下，使刮除件的下端面緊密貼靠在梅花探頭的棱角端面上，并沿著其向下移動(dòng)至梅花探頭的底部時(shí)，再通過進(jìn)氣管對(duì)套管上端側(cè)壁上開有的進(jìn)氣孔進(jìn)行吸氣，逆向重復(fù)之前過程；本發(fā)明應(yīng)用于測(cè)試探針清潔方法，能夠有效代替人工清潔，保證了清潔質(zhì)量和測(cè)試效率。