測(cè)試探針清潔方法的粘性吸附方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210126255.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114414862A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN114414862A 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類(lèi)號(hào) G01R1/073（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 賀濤;金永斌;丁寧;朱偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)興浦路200號(hào)5#101、102、201、202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明測(cè)試探針清潔方法的粘性吸附方法涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域；具體為：?jiǎn)?dòng)傳動(dòng)電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)主動(dòng)梯形齒輪順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)梯形齒輪帶動(dòng)螺紋套筒逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)傳動(dòng)軸向下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)固定片帶動(dòng)清潔軟膠向下運(yùn)動(dòng)至與測(cè)試探針的上端面相抵靠，清潔軟膠在與測(cè)試探針的梅花探頭部分的接觸作用由接觸、抵靠、碾壓發(fā)生形變，將梅花探頭上端面的雜質(zhì)和灰塵粘在清潔軟膠的表面上，調(diào)節(jié)傳動(dòng)電機(jī)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，將之前的動(dòng)作逆方向完成，清潔軟膠相上運(yùn)動(dòng)至與測(cè)試探針的上端面相分離，以完成粘性吸附清潔工作；本發(fā)明應(yīng)用于測(cè)試探針清潔方法，能夠有效代替人工清潔，保證了清潔質(zhì)量和測(cè)試效率。