測試探針清潔方法的探針固定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210126254.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114472252A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114472252A 申請公布日 2022-05-13
分類號 B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 賀濤;金永斌;丁寧;朱偉 申請（專利權(quán)）人 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)興浦路200號5#101、102、201、202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明測試探針清潔方法的探針固定方法涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域；具體為：調(diào)節(jié)待清潔的測試探針相對應(yīng)的基座本體上的第一調(diào)節(jié)螺栓和第二調(diào)節(jié)螺栓，同時順時針旋轉(zhuǎn)第一調(diào)節(jié)螺栓和逆時針旋轉(zhuǎn)第二調(diào)節(jié)螺栓，并旋轉(zhuǎn)相同圈數(shù)，使第一絲杠螺母沿著第一調(diào)節(jié)螺栓的軸向方向拉動第一限位夾片向基座本體外移動一定距離，同時使第二絲杠螺母沿著第二調(diào)節(jié)螺栓的軸向方向拉動第二限位夾片向基座本體外移動與第一限位夾片等量的距離，第一限位夾片和第二限位夾片上相對應(yīng)的圓形通孔的側(cè)壁發(fā)生相對位移，并與設(shè)置在對應(yīng)的圓形通孔內(nèi)的測試探針的外壁相抵靠，以對測試探針進(jìn)行固定；本發(fā)明應(yīng)用于測試探針清潔方法，能夠有效代替人工清潔，保證了清潔質(zhì)量和測試效率。