一種檢測芯片襯底厚度的臺階儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910977661.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110763129A 公開（公告）日 2020-02-07
申請公布號 CN110763129A 申請公布日 2020-02-07
分類號 G01B7/06;G01B11/06;G01B7/00;G01B5/02;G01C9/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁晶晶;李黎菲 申請（專利權(quán)）人 武漢奧億特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 武漢奧億特科技有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東西湖區(qū)長青辦事處勝河路38號(7)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種檢測芯片襯底厚度的臺階儀，包括固定底座，所述固定底座的頂部固定連接有支撐架，所述支撐架的頂部固定連接有控制裝置，所述控制裝置的底部固定連接有升降驅(qū)動裝置，所述升降驅(qū)動裝置輸出軸的底端固定連接有檢測模組，本發(fā)明涉及臺階儀技術(shù)領(lǐng)域。該檢測芯片襯底厚度的臺階儀，當(dāng)需要更換磨損的探測針頭時，將螺紋桿旋接進(jìn)螺紋槽內(nèi)，通過刻度指示盤的轉(zhuǎn)動，使得探測針頭的伸出長度可視化，可以快速判斷出探測針頭的伸出長度，當(dāng)刻度指示針指向預(yù)先記錄好的刻度時，表示高度正常，并且通過轉(zhuǎn)動螺紋桿可以快速的對探測針頭的伸出長度進(jìn)行校準(zhǔn)，使得厚度檢測的更加精準(zhǔn)，使用起來更加方便快捷。