一種半導(dǎo)體精密閥門鏡面處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010054672.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111230601B 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN111230601B 申請公布日 2020-12-29
分類號 B24B1/00;B24B49/00;B24B49/16;B24B47/20;B24B37/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 蘇毅昌;何偉湛;關(guān)復(fù)燁 申請（專利權(quán)）人 廣東羅庚機(jī)器人有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州君咨知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉智君
地址 528000 廣東省佛山市禪城區(qū)華寶南路1號九座首層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體精密閥門鏡面處理方法，應(yīng)用于自動化設(shè)備對半導(dǎo)體精密閥門的加工中，本發(fā)明通過自動化設(shè)備夾持多種耗材對半導(dǎo)體精密閥門的各個面的不同尺寸的孔循序漸進(jìn)地進(jìn)行精密研磨和拋光處理，有效解決了人手打磨帶來的勞動強(qiáng)度大、生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定和耗材損耗快等問題，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體精密閥門打磨和拋光的自動化生產(chǎn)。