一種PVDF壓電感應薄膜的制備方法和壓電傳感器及其在起重機啃軌中的應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011534912.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112701213A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112701213A 申請公布日 2021-04-23
分類號 H01L41/253;H01L41/257;H01L41/33;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/193;B66C9/16;B66C13/16 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王水明;施永昌;沈策;胡萍;李軍;夏樂;呂寬新;蔣龍;趙碧霞 申請（專利權）人 杭州華新機電工程有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 王歡
地址 310000 浙江省杭州市西湖區(qū)三墩鎮(zhèn)金蓬街315號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種PVDF壓電感應薄膜的制備方法和壓電傳感器及其在起重機啃軌中的應用，方法包括以下步驟:將PVDF初始膜進行拉伸，保溫，冷卻后極化，降溫后再磁控濺射，得到PVDF壓電感應薄膜；所述PVDF壓電薄膜中壓電相含量為70～75％。本發(fā)明采用拉伸方法對PVDF膜改性，誘導薄膜內發(fā)生相變，生成壓電β相，相較于初始薄膜，壓電相含量增加了3.5～4倍。該PVDF壓電感應薄膜具有較大的靜態(tài)壓電系數。該薄膜制備的壓電傳感器能夠用于起重機的防啃軌監(jiān)測中。