激光共聚焦多點測高系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023261877.6 申請日 -
公開(公告)號 CN214426647U 公開(公告)日 2021-10-19
申請公布號 CN214426647U 申請公布日 2021-10-19
分類號 G01B11/06(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 馬雙雙 申請(專利權(quán))人 嘉興景焱智能裝備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海霖睿專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 黃燕石;陳得宗
地址 314100浙江省嘉興市嘉善縣羅星街道歸谷二路33號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及精密光學儀器測量系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種激光共聚焦多點測高系統(tǒng),包括激光光源和共聚焦直線光路,所述激光光源通過準直鏡向分光棱鏡發(fā)射激光,在所述激光光路的準直鏡前方,設(shè)置微透鏡陣列和第一分光鏡,激光入射光位于第一分光鏡的透光光路上,在所述第一分光鏡的分光光路上設(shè)置第二分光鏡,在所述第二分光鏡的透光光路和分光光路上,分別設(shè)置正離焦PMT組和負離焦PMT組,在正離焦PMT組的光路上設(shè)置正離焦小孔組,在負離焦PMT組的光路上負離焦小孔組,所述微透鏡陣列包括多個陣列排布的凸透鏡。本實用新型針對待測面的實際分布通過微透鏡陣列來實現(xiàn)更換測試范圍,實現(xiàn)同時測量多個不同點的特征信息。