激光共聚焦測高系統(tǒng)及測高方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010467720.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111366088A 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN111366088A 申請公布日 2020-07-03
分類號 G01B11/06;G01B11/30 分類 -
發(fā)明人 馬雙雙;李夢夢 申請（專利權）人 嘉興景焱智能裝備技術有限公司
代理機構 上海霖睿專利代理事務所（普通合伙） 代理人 嘉興景焱智能裝備技術有限公司
地址 314100 浙江省嘉興市嘉善縣羅星街道歸谷二路33號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及精密光學儀器測量系統(tǒng)技術領域，公開了一種激光共聚焦測高系統(tǒng)，包括共聚焦直線光路和激光光源，在所述激光光源與其后側的照明后鏡組之間設置雙孔模塊，所述雙孔模塊包括并排布置的第二分光棱鏡和第三分光棱鏡，所述第三分光棱鏡的分光面與第二分光棱鏡的分光面在激光光路的法向面上翻轉90度，在第三分光棱鏡的透光光路和分光光路上，分別設置正離焦測試PMT和負離焦測試PMT，在正離焦測試PMT的光路上的正離焦位置設置正離焦小孔，在負離焦測試PMT的光路上的負離焦位置設置負離焦小孔。本發(fā)明還公開了激光共聚焦測高方法。本發(fā)明對待測物面的高度范圍內實現高精度測高功能，并能判斷表面具體的凸凹特征。