一種顯影裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111291709.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113960897A 公開（公告）日 2022-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113960897A 申請(qǐng)公布日 2022-01-21
分類號(hào) G03F7/30（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 許嘉俊;賈辛;劉志祥;胡廷輝;雷茸糧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都同力精密光電儀器制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 江亞平
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種顯影裝置及方法，包括顯影槽、儲(chǔ)存槽和溫度控制單元。顯影過程中，顯影槽進(jìn)液管閥門開啟，循環(huán)泵從儲(chǔ)存槽中抽取顯影液進(jìn)入顯影槽，使顯影液逐漸覆蓋待顯影基片。當(dāng)液面到達(dá)溢流管后，顯影液從溢流管回到儲(chǔ)存槽，并在顯影槽和儲(chǔ)存槽中循環(huán)流動(dòng)。顯影結(jié)束后，顯影槽進(jìn)液管閥門關(guān)閉，排液管閥門開啟。顯影液通過排液管快速回到儲(chǔ)存槽，待下次顯影使用。儲(chǔ)存槽中有顯影液濃度檢測(cè)儀，閉環(huán)控制顯影液原液流入量和舊顯影液流出量，使顯影液濃度維持在設(shè)定范圍內(nèi)。溫度控制單元和儲(chǔ)存槽相連。本發(fā)明顯影液同時(shí)接觸待顯影基片表面各個(gè)位置，并保持穩(wěn)定的顯影液濃度和溫度，不需要每次全部更換顯影液，提高了顯影的效率、均勻性和穩(wěn)定性。