一種用于衍射光學(xué)元件測量的傅里葉變換物鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111301759.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114019653A 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN114019653A 申請公布日 2022-02-08
分類號 G02B13/00（2006.01）I;G02B13/22（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G01M11/04（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 何毅;廖志杰;劉衛(wèi)靜;付韜韜;蕾茸糧 申請（專利權(quán)）人 成都同力精密光電儀器制造有限公司
代理機構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 江亞平
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于衍射光學(xué)元件測量的傅里葉變換物鏡，其光軸方向包括孔徑光闌、第一透鏡、第二透鏡、中間像面、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、后焦面。其中孔徑光闌位置處放置被測衍射光學(xué)元件，第一透鏡具有正光焦度，第二透鏡具有負光焦度，第一透鏡和第二透鏡構(gòu)成成像前組，將孔徑光闌的出射光聚焦至中間像面，中間像面用于對所成的光斑進行處理，第三透鏡至第六透鏡具有正光焦度，其構(gòu)成成像后組，將中間像面成像至所述傅里葉變換物鏡的后焦面處，后焦面為探測器的光敏面，孔徑光闌位于所述傅里葉變換物鏡的前焦面，后焦面上所有視場點的主光線與光軸平行，形成像方遠心光路，后焦面為孔徑光闌的傅里葉頻譜面，滿足正弦條件。