一種方形基片夾持裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111576452.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114200777A 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114200777A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) G03F7/16（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 許嘉俊;賈辛;劉志祥;胡廷輝;雷茸糧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都同力精密光電儀器制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 金怡
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種方形基片夾持裝置，用于在方形基片表面旋轉(zhuǎn)涂覆流動(dòng)介質(zhì)。該裝置包括固定基片座和輔助定位盤。所述固定基片座底部為傳動(dòng)件，用于該裝置與電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸之間的傳動(dòng)連接。傳動(dòng)件連接帶有通孔的圓形托盤，圓形托盤上有定位臺(tái)階，其外輪廓為半圓，內(nèi)部有矩形凹槽，與方形基片貼合，用于基片定位。輔助定位盤形狀與定位臺(tái)階形狀互為鏡像，底部具有凸出結(jié)構(gòu)，其形狀與圓形托盤上通孔匹配。圓形托盤定位臺(tái)階深度與基片厚度相同，固定基片座、方形基片和輔助定位盤組合后形成光滑平坦的上表面，且外輪廓為圓柱形，可提高流動(dòng)介質(zhì)在基片表面旋轉(zhuǎn)涂覆的均勻性。