一種雙面微柱面透鏡陣列垂直度的檢測裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111632964.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114279303A 公開（公告）日 2022-04-05
申請公布號 CN114279303A 申請公布日 2022-04-05
分類號 G01B5/245（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐富超;廖志杰;林嫵媚;胡廷暉 申請（專利權(quán)）人 成都同力精密光電儀器制造有限公司
代理機構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 金怡
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙面微柱面透鏡陣列垂直度的檢測裝置和方法，該裝置包括雙面微柱面透鏡陣列（101），第一小球（102），第二小球（103），繞Z軸的旋轉(zhuǎn)臺（105），沿X軸和Y軸的二維平移臺（104），Z軸方向高度接觸測量設(shè)備（106）和計算機（107）。第一小球（102），第二小球（103）為兩個相同的小球，通過兩個小球的定位和對測試數(shù)據(jù)的擬合處理，實現(xiàn)精確調(diào)整雙面微柱面透鏡陣列與運動軸的關(guān)系。通過對上下柱面輪廓數(shù)據(jù)的測試和數(shù)據(jù)處理，計算出兩個柱面的母線方向，進而實現(xiàn)對雙面微柱面透鏡陣列垂直度的精確檢測。