一種光刻膠特性參數(shù)的測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111630550.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114324258A 公開（公告）日 2022-04-12
申請公布號 CN114324258A 申請公布日 2022-04-12
分類號 G01N21/59（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 賈辛;劉志祥;劉衛(wèi)靜;謝強 申請（專利權(quán)）人 成都同力精密光電儀器制造有限公司
代理機構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 金怡
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種光刻膠特性參數(shù)的測量裝置及方法，測量裝置包括光源，濾光片，聚光鏡，擴束鏡，衰減片，涂有光刻膠的基片，第一光電探測器，第二光電探測器，夾持工具和計算機，從光源發(fā)射的光經(jīng)濾光片過濾后通過準(zhǔn)直擴束系統(tǒng)照射到衰減片上，經(jīng)過衰減片的光照射到涂有光刻膠的基片上，衰減片和涂有光刻膠的基片放置在基片夾持工具上，光通過夾持工具的窗口后分別照射到第一光電探測器和第二光電探測器上，第一光電探測器、第二光電探測器收集光強變化的信號傳輸?shù)接嬎銠C上，通過光強的分析可以計算出光刻膠的特性參數(shù)。本發(fā)明可以同時測量有膠的部分和無膠部分在光照射時的光強變化，進而求出光刻膠的特性參數(shù)。