一種衍射光學(xué)元件衍射效率測(cè)量裝置和方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111240664.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113945364A | 公開（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113945364A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-18 |
| 分類號(hào) | G01M11/02（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉衛(wèi)靜;廖志杰;何毅;謝強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都同力精密光電儀器制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 江亞平 |
| 地址 | 610209四川省成都市雙流350信箱 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種衍射光學(xué)元件衍射效率測(cè)量裝置和方法，該方法用于衍射光學(xué)元件衍射效率測(cè)量。采用分光法測(cè)量衍射光學(xué)元件衍射效率，可以有效減小光源能量不穩(wěn)定對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，測(cè)量過程中，利用小孔光闌擋住高衍射級(jí)光斑，可以有效提高測(cè)量準(zhǔn)確性，測(cè)量方法簡(jiǎn)單，高效。 |
