超大規(guī)模集成電路超凈生產(chǎn)環(huán)境系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922065269.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212006019U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212006019U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號(hào) | F24F3/16(2006.01)I | 分類 | 供熱；爐灶；通風(fēng); |
| 發(fā)明人 | 蔣乃軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇蘇凈工程建設(shè)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張川 |
| 地址 | 215122 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯新路2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于潔凈室技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種超大規(guī)模集成電路超凈生產(chǎn)環(huán)境系統(tǒng)，包括潔凈區(qū)和空調(diào)機(jī)房，潔凈區(qū)在不同潔凈間設(shè)置有第一高架地板和/或第二高架地板，第一高架地板為多孔板，第二高架地板為盲孔板；空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)設(shè)置有與新風(fēng)空調(diào)相連通的風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，該風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組包括設(shè)置不同潔凈間的不同風(fēng)機(jī)過濾單元，以分別調(diào)節(jié)風(fēng)量。通過風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組和新風(fēng)空調(diào)配合使用，可以根據(jù)潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈間的實(shí)際需要設(shè)定新風(fēng)空調(diào)的功率、風(fēng)機(jī)過濾單元設(shè)置方式，因而可調(diào)節(jié)潔凈區(qū)內(nèi)不同潔凈間的壓力分布、溫濕度等，同時(shí)使?jié)崈魠^(qū)具有更高潔凈度，降低了運(yùn)行費(fèi)用，改善了工作環(huán)境，為超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)提供了超凈環(huán)境。?? |
