一種基于掃描拼接的大尺寸曝光光源
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020865009.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211979422U | 公開（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申請公布號 | CN211979422U | 申請公布日 | 2020-11-20 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 張博;李康 | 申請（專利權(quán)）人 | 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 新鄉(xiāng)市平原智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司 |
| 地址 | 453000河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種基于掃描拼接的大尺寸曝光光源，包括曝光光源組合，所述曝光光源組合的右側(cè)設(shè)有傾斜45度角放置的第一反射鏡，所述曝光光源組合和第一反射鏡的上方設(shè)置有掃描平臺，所述掃描平臺的上表面設(shè)有與第一反射鏡上下對應(yīng)的掩膜板，所述掩膜板的正上方設(shè)有傾斜135度角放置的第二反射鏡，所述第二反射鏡的左側(cè)設(shè)置有投影鏡頭組合，所述投影鏡頭組合的左側(cè)設(shè)置有傾斜45度角放置的第三反射鏡，通過兩排多個曝光光源組合在X和Y方向上進(jìn)行拼接掃描曝光，可以實(shí)現(xiàn)曝光圖形間的無接縫拼接，多個光源組合以掃描的方式實(shí)現(xiàn)大面積的曝光視場，既降低了系統(tǒng)的成本，還可以提高曝光的生產(chǎn)效率。?? |
