一種大功率多波段曝光光源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010345413.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111458988A 公開（公告）日 2020-07-28
申請公布號 CN111458988A 申請公布日 2020-07-28
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張博;李康;王艷軍;陳龍飛;劉琴 申請（專利權）人 河南百合特種光學研究院有限公司
代理機構 新鄉(xiāng)市平原智匯知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 河南百合特種光學研究院有限公司
地址 453000河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大功率多波段曝光光源，包括多波段UV?LED光源模組、激光光源模組、合光器、整形器件組、光學積分器和曝光組件；以多波段UV?LED環(huán)形光斑和激光光斑耦合的方式實現(xiàn)臺面的平行光曝光，可以實現(xiàn)臺面不同波段的大功率輸出，能夠顯著提升曝光的質(zhì)量，還可以實現(xiàn)不同紫外工作波段的快速切換，對于臺面不同類型光刻膠及不同曝光能量的需求具有更好的適用性。??