一種大功率多波段曝光光源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020666328.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211979419U 公開（公告）日 2020-11-20
申請公布號 CN211979419U 申請公布日 2020-11-20
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 張博;李康;王艷軍;陳龍飛;劉琴 申請（專利權）人 河南百合特種光學研究院有限公司
代理機構 新鄉(xiāng)市平原智匯知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 河南百合特種光學研究院有限公司
地址 453000河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種大功率多波段曝光光源，包括多波段UV?LED光源模組、激光光源模組、合光器、整形器件組、光學積分器和曝光組件；以多波段UV?LED環(huán)形光斑和激光光斑耦合的方式實現臺面的平行光曝光，可以實現臺面不同波段的大功率輸出，能夠顯著提升曝光的質量，還可以實現不同紫外工作波段的快速切換，對于臺面不同類型光刻膠及不同曝光能量的需求具有更好的適用性。??