一種時分復(fù)用曝光光源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010405848.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111505911A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN111505911A 申請公布日 2020-08-07
分類號 G03F7/20 分類 -
發(fā)明人 張博;李康 申請（專利權(quán)）人 河南百合特種光學研究院有限公司
代理機構(gòu) 新鄉(xiāng)市平原智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 河南百合特種光學研究院有限公司
地址 453000 河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種時分復(fù)用曝光光源，包括脈沖光線出射組件、勻光模塊、準直透鏡組、轉(zhuǎn)向棱鏡組、數(shù)字微反射鏡、投影鏡頭和曝光臺面，該時分復(fù)用曝光光源通過脈沖出射組件中相鄰紫外光源的脈沖間隔同數(shù)字微反射鏡工作狀態(tài)切換的脈沖間隔匹配，可以有效消除曝光臺面的“拖影”現(xiàn)象，提高曝光質(zhì)量，同時，工作在脈沖模式的光源可以通過控制占空比獲得較大的脈沖能量輸出，多光源按時間先后依次曝光，進一步降低了曝光光源的占空比，有利于光源的過載保護和有效散熱，可以獲得穩(wěn)定的光功率輸出。