一種光刻機(jī)用的一體封裝的LED陣列光源

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020579195.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213018989U 公開（公告）日 2021-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN213018989U 申請(qǐng)公布日 2021-04-20
分類號(hào) F21V5/04(2006.01)I;F21Y115/10(2016.01)N;G03F7/20(2006.01)I;F21K9/69(2016.01)I;F21V19/00(2006.01)I 分類 照明;
發(fā)明人 王艷軍;張博;張文戰(zhàn) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 新鄉(xiāng)市平原智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊杰
地址 453000河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光刻機(jī)用的一體封裝的LED陣列光源，包括LED光源組件，通過(guò)將LED陣列芯片、聚光透鏡、異形光學(xué)積分器和準(zhǔn)直透鏡做一體化緊密膠合，具備聚光、勻光和準(zhǔn)直功能，能夠提高LED陣列光源的光功率利用率，減小了光路調(diào)整的難度，能提供更高的生產(chǎn)效率。同時(shí)提出了一種以一體封裝的LED陣列光源作為曝光光源的光路系統(tǒng)，增加了二次勻光，保證曝光臺(tái)面較高的均勻性。??