一種用于12英寸硅晶圓的負(fù)型PSPI樹(shù)脂及其制備方法與應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010263769.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111522200B 公開(kāi)（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN111522200B 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類(lèi)號(hào) G03F7/027（2006.01）I;G03F7/037（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I;C08F283/04（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I;G03F7/16（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I;G03F7/40（2006.01）I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 楊士勇;袁莉莉;范圣男;賈斌;左立輝;彭劍鵬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 明泉集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 關(guān)暢
地址 100190北京市海淀區(qū)中關(guān)村北一街2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于12英寸硅晶圓的負(fù)型PSPI樹(shù)脂及其制備方法與應(yīng)用。它包括如下組分制成：感光性聚酰亞胺前驅(qū)體樹(shù)脂、溶劑、光固化單體和光固化引發(fā)劑。它的制備方法，包括如下步驟：（1）將所述感光性聚酰亞胺前驅(qū)體樹(shù)脂和所述溶劑混合，在黃光區(qū)和氮?dú)獗Ｗo(hù)下攪拌溶解形成均相溶液；（2）在所述均相溶液中加入所述光固化單體、所述光固化引發(fā)劑和/或所述其它組份混合，形成均相溶液后，添加所述溶劑，調(diào)整溶液體系粘度，過(guò)濾，即得到所述負(fù)型PSPI樹(shù)脂。本發(fā)明負(fù)型PSPI樹(shù)脂組合物溶液具有優(yōu)良的儲(chǔ)存穩(wěn)定性和光刻工藝性，低溫固化的樹(shù)脂薄膜具有優(yōu)良的綜合力學(xué)性能、耐濕熱性、耐化學(xué)浸蝕性和銅面粘結(jié)性，應(yīng)用于制備12英寸晶圓表面多層互連電路中。