一種硅片雙面清洗機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820036687.8 申請日 -
公開（公告）號 CN208225847U 公開（公告）日 2018-12-11
申請公布號 CN208225847U 申請公布日 2018-12-11
分類號 H01L21/67;H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姜濤;陽軍;吳會旭;李釗 申請（專利權(quán)）人 蘇州聚晶科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州市指南針專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 李先鋒
地址 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)太平街道聚金工業(yè)坊順樂路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片雙面清洗機，其特征在于包括箱體、支架、第一氣缸、斜面推頭、連接桿、放料板、避讓槽、支撐夾緊機構(gòu)、固定座、第二氣缸、滑動板、支座、第一伺服電機、第一齒輪、轉(zhuǎn)軸、第二齒輪、夾爪氣缸、自清洗機構(gòu)、第二伺服電機、絲杠、進給螺母、滑座、水箱、針型噴頭，第一氣缸帶動斜面推頭下移將硅片夾緊，第二伺服電機驅(qū)動針型噴頭對硅片上表面清洗，自清洗機構(gòu)工作將用于夾持的墊板上的灰塵去除，夾爪氣缸帶動自清洗機構(gòu)將硅片夾緊，第一伺服電機驅(qū)動夾爪氣缸翻轉(zhuǎn)180°，第二伺服電機驅(qū)動針型噴頭對硅片上表面清洗。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，自動將硅片托起、夾緊，同時，能將硅片翻轉(zhuǎn)180°進行雙面清洗，有效提高清洗效率及清洗質(zhì)量。