一種硅片單面清洗機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820036683.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208225846U 公開（公告）日 2018-12-11
申請公布號 CN208225846U 申請公布日 2018-12-11
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李世磊;陽軍;吳會旭;李釗 申請（專利權）人 蘇州聚晶科技有限公司
代理機構 蘇州市指南針專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 李先鋒
地址 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)太平街道聚金工業(yè)坊順樂路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片單面清洗機，包括箱體、支架、氣缸、斜面推頭、連接桿、放料板、避讓槽、支撐夾緊機構、伺服電機、絲杠、進給螺母、滑座、水箱、針型噴頭，打開送料門，手動將硅片放置在放料板上，氣缸回程，當斜面推頭與楔形塊接觸后，隨著氣缸回程，4件對稱布置的支撐夾緊機構同時工作，彈簧復位推動楔形塊沿滑軌向斜面推頭移動，從而帶動支撐桿移動，進而帶動4件對稱布置的支撐夾緊機構收縮合攏將硅片夾緊，伺服電機工作，帶動與水箱固連的針型噴頭移動，向水箱內泵入高壓的清洗液，清洗液經針型噴頭噴出對硅片進行單面清洗。該裝置結構簡單，自動將硅片托起、夾緊，硅片夾緊時處于“浮動”狀態(tài)，使得沖洗均勻，提高清洗效果。