一種低功耗靜電驅(qū)動(dòng)式RF MEMS開(kāi)關(guān)的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910172128.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109911845A 公開(kāi)（公告）日 2019-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN109911845A 申請(qǐng)公布日 2019-06-21
分類(lèi)號(hào) B81C1/00（2006.01）I; H01H59/00（2006.01）I 分類(lèi) 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 錢(qián)娟; 王鵬飛; 陳泓宇 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫眾創(chuàng)未來(lái)科技應(yīng)用有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市百拓共享專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 無(wú)錫眾創(chuàng)未來(lái)科技應(yīng)用有限公司
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市錫山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)芙蓉中三路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種低功耗靜電驅(qū)動(dòng)式RF MEMS開(kāi)關(guān)的制造方法，其采用濕法刻蝕、深反應(yīng)離子刻蝕、電鍍等工藝，優(yōu)化了現(xiàn)有靜電驅(qū)動(dòng)式RF MEMS開(kāi)關(guān)的制造工藝，制造出的RF MEMS開(kāi)關(guān)具有低功耗、高壽命的特點(diǎn)，符合行業(yè)需求。