一種固定碳化硅籽晶的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120913417.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216006087U 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN216006087U 申請公布日 2022-03-11
分類號 C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 皮孝東;徐所成;鐘紅生;王亞哲;姚秋鵬;羅昊;楊德仁 申請（專利權(quán)）人 杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 杭州裕陽聯(lián)合專利代理有限公司 代理人 金方瑋
地址 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)建設(shè)三路733號信息港五期一號樓205-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種固定碳化硅籽晶的裝置，包括坩堝本體以及與坩堝本體蓋合的坩堝蓋，所述坩堝本體上部設(shè)有活動連接的承載環(huán)與籽晶蓋，所述承載環(huán)與籽晶蓋用于固定籽晶；所述承載環(huán)與籽晶蓋同心軸。本實用新型的裝置減少了一道籽晶粘接預(yù)處理工藝，降低了從籽晶蓋分離取出晶體的困難度，規(guī)避后續(xù)加工造成的一系列問題，減小了晶體中的缺陷密度，進而提高碳化硅晶體生長的效率、良率。