標記碳化硅晶圓碳硅極性面的方法及對應的碳化硅晶圓

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111271477.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114121619A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114121619A 申請公布日 2022-03-01
分類號 H01L21/04（2006.01）I;H01L23/544（2006.01）I;H01L29/16（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張行富;宣麗英;潘勝漿 申請（專利權）人 杭州乾晶半導體有限公司
代理機構 杭州五洲普華專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 姚宇吉
地址 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)建設三路733號信息港五期一號樓205-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及碳化硅晶圓制造技術領域，公開了一種標記碳化硅晶圓碳硅極性面的方法及對應的碳化硅晶圓，包括：對碳化硅晶圓外側的定位標記的一端或兩端進行加工形成倒角；當只在定位標記的一端設置倒角時，設定當?shù)菇俏挥诙ㄎ粯擞浀淖蠖嘶蛘哂叶藭r，對應的碳化硅晶圓表面為碳極性面或者硅極性面；當在定位標記的兩端分別設置倒角時，設定當定位標記左端的倒角大于右邊的倒角或者定位標記左端的倒角小于右邊的倒角時，對應的碳化硅晶圓表面為碳極性面或者硅極性面。本發(fā)明通過在定位標記一端設置倒角或兩端設置大小不同的倒角的方式區(qū)分所述碳化硅晶圓的碳極性面和硅極性面；使得能夠快速的識別碳極性面和硅極性面，成功率高，簡單可靠。