一種碳化硅晶圓

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122627593.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216773241U 公開（公告）日 2022-06-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN216773241U 申請(qǐng)公布日 2022-06-17
分類號(hào) H01L23/544（2006.01）I;H01L29/16（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張行富;宣麗英;潘勝漿 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州五洲普華專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)建設(shè)三路733號(hào)信息港五期一號(hào)樓205-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及碳化硅晶圓制造技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種碳化硅晶圓，所述碳化硅晶圓的外側(cè)包括定位標(biāo)記，所述定位標(biāo)記的一端或兩端設(shè)有倒角；當(dāng)所述定位標(biāo)記的一端設(shè)有倒角時(shí)，所述倒角位于所述定位標(biāo)記的左端或右端；當(dāng)所述定位標(biāo)記的兩端都設(shè)有倒角時(shí)，所述定位標(biāo)記兩端倒角的半徑大小不同。本實(shí)用新型通過在定位標(biāo)記一端設(shè)置倒角或兩端設(shè)置大小不同的倒角的方式區(qū)分所述碳化硅晶圓的碳極性面和硅極性面；使得能夠快速的識(shí)別碳極性面和硅極性面，成功率高，簡單可靠。