一種冷卻背板及磁控濺射鍍膜設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420597869.4 申請日 -
公開（公告）號 CN204529966U 公開（公告）日 2015-08-05
申請公布號 CN204529966U 申請公布日 2015-08-05
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭柱根 申請（專利權）人 海南行佰新能源科技有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 海南漢能光伏有限公司;漢能移動能源控股集團有限公司
地址 570125 海南省海口市龍華區(qū)濱海大道103號財富廣場20層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種冷卻背板，應用于磁控濺射鍍膜設備中，所述冷卻背板用于將冷卻水和靶材相隔離，所述冷卻背板與冷卻水接觸的表面上設置有多個凸起結構。由于所述冷卻背板與所述冷卻水接觸的一面設置有多個凸起結構，從而導致所述冷卻背板與冷卻水的接觸面積增大，導致所述冷卻水與所述冷卻背板3之間的熱交互效果顯著增強，使得所述靶材的溫度顯著降低。