一種蓋板及石英加料裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121160841.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN215757724U 公開(kāi)(公告)日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN215757724U 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類(lèi)號(hào) C30B15/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 周濤;楚信博;楊政 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 包頭晶澳太陽(yáng)能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬(wàn)慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 張一帆
地址 014000內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市青山區(qū)裝備園區(qū)新規(guī)劃區(qū)裝備大道21號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種蓋板及石英加料裝置,蓋板用于蓋在石英加料筒的加料口上,蓋板包括對(duì)接的至少兩個(gè)蓋板單元,所述蓋板單元包括面板以及設(shè)于所述面板下方的限位部;所述面板包括內(nèi)側(cè)壁以及設(shè)于所述內(nèi)側(cè)壁的外圍并和所述內(nèi)側(cè)壁連接的外側(cè)壁,所述內(nèi)側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有第一避讓槽,各個(gè)所述蓋板單元的所述第一避讓槽拼接成用于避讓所述石英加料筒中鉬桿的槽孔;所述限位部限位在所述石英加料筒的側(cè)壁上。通過(guò)蓋板可以避免污染物對(duì)石英加料筒內(nèi)部硅料的污染,從而提高硅片的電學(xué)性能。