一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011037781.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112063989A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112063989A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-11 |
| 分類號(hào) | C23C14/56(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李小軍;張華林;唐鑫;光宣標(biāo) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳余梅專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陳余才 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值捞m竹東路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明為一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置，涉及插板閥領(lǐng)域，解決了在連續(xù)真空磁控濺射鍍膜裝置中，大部分使用轉(zhuǎn)板閥裝置和插板閥裝置來(lái)進(jìn)行進(jìn)、出口隔離，而以前的插板閥都是使用的氣缸或波紋管驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，因溫度、疲勞、外力等作用下，造成氣缸密封川老化漏氣、波紋管疲勞破裂，極易造成內(nèi)部泄漏，瞬間破壞箱體真空度，使分子泵跳停，損壞分子泵，箱體內(nèi)的產(chǎn)品報(bào)廢，在實(shí)際應(yīng)用存在很大隱患的問(wèn)題。技術(shù)特征包括:插板閥；第一真空箱體，所述第一真空箱體安裝于插板閥上。徹底解決了連續(xù)真空磁控濺射鍍膜裝置中內(nèi)漏問(wèn)題(內(nèi)漏用檢漏儀檢測(cè)困難)，將使連續(xù)真空磁控濺射鍍膜線的穩(wěn)定性和真空環(huán)境得到質(zhì)的提升。?? |
