一種硅片傳輸調(diào)平機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021786773.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212485352U 公開(公告)日 2021-02-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN212485352U 申請(qǐng)公布日 2021-02-05
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 葛景;陳玉彬 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州辰錦智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)越溪街道塔韻路178號(hào)一棟2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片傳輸調(diào)平機(jī)構(gòu),包括:一對(duì)石英管組,平行設(shè)置,并配合構(gòu)成承載所述傳送帶的承載面;調(diào)平座,至少設(shè)置于所述傳送帶的接收端和輸出端,其包括:座體,垂直于所述石英管組的延伸方向設(shè)置;調(diào)節(jié)組件,活動(dòng)連接于所述座體,所述調(diào)節(jié)組件的兩端均具有用于承載所述石英管組的承載部,所述調(diào)節(jié)組件設(shè)置有所述承載部的兩端能夠分別沿豎直方向相對(duì)所述座體移動(dòng)。本實(shí)用新型提供的硅片傳輸調(diào)平機(jī)構(gòu),通過調(diào)節(jié)組件姿態(tài)的調(diào)整,能夠使一對(duì)承載部承載的一對(duì)石英管組進(jìn)行高度位置調(diào)節(jié),進(jìn)而可將一對(duì)石英管組調(diào)整至相互平行、且與水平面平行,滿足平穩(wěn)傳輸硅片的需求。??