一種硅片傳輸調(diào)平機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021786773.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212485352U | 公開（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212485352U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號(hào) | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 葛景;陳玉彬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州辰錦智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)越溪街道塔韻路178號(hào)一棟2層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種硅片傳輸調(diào)平機(jī)構(gòu)，包括：一對(duì)石英管組，平行設(shè)置，并配合構(gòu)成承載所述傳送帶的承載面；調(diào)平座，至少設(shè)置于所述傳送帶的接收端和輸出端，其包括：座體，垂直于所述石英管組的延伸方向設(shè)置；調(diào)節(jié)組件，活動(dòng)連接于所述座體，所述調(diào)節(jié)組件的兩端均具有用于承載所述石英管組的承載部，所述調(diào)節(jié)組件設(shè)置有所述承載部的兩端能夠分別沿豎直方向相對(duì)所述座體移動(dòng)。本實(shí)用新型提供的硅片傳輸調(diào)平機(jī)構(gòu)，通過調(diào)節(jié)組件姿態(tài)的調(diào)整，能夠使一對(duì)承載部承載的一對(duì)石英管組進(jìn)行高度位置調(diào)節(jié)，進(jìn)而可將一對(duì)石英管組調(diào)整至相互平行、且與水平面平行，滿足平穩(wěn)傳輸硅片的需求。?? |
