晶圓檢測定位裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023349583.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213905332U 公開(公告)日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN213905332U 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃杰勇 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳思謀信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 周昭
地址 518051廣東省深圳市南山區(qū)高新南九道45號(hào)三航科技大廈22樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種晶圓檢測定位裝置,包括:吸盤及夾具,吸盤具有吸附面,吸附面開設(shè)有能夠?qū)⒕A沿軸向吸附于吸附面且貫穿吸盤的吸附孔;夾具與吸盤相連且圍設(shè)于吸附孔的外周,夾具內(nèi)形成可沿徑向限位晶圓的徑向腔;如此,通過吸盤對(duì)晶圓施加了軸向吸附力,吸盤外圍的夾具對(duì)晶圓施加了徑向夾持力,軸向吸附力及徑向夾持力對(duì)晶圓進(jìn)行了雙重定位作用,保證了晶圓檢測定位裝置夾持晶圓的穩(wěn)定性。