一種貼片式半導(dǎo)體氣體傳感器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201710238258.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN106872532A | 公開（公告）日 | 2017-06-20 |
| 申請公布號 | CN106872532A | 申請公布日 | 2017-06-20 |
| 分類號 | G01N27/12(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 蘇靜文;祁明鋒;鄭世琦 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州邁姆斯傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)葑亭大道598號2幢5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種貼片式半導(dǎo)體氣體傳感器，涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域。采用本發(fā)明的方案能獲得一種貼片式結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體氣體傳感器，因為其芯片采用貼片式裝配方式，可以在一個方向上最大限度減小尺寸，且能夠更好地抵抗震動沖擊。另外，其生產(chǎn)涉及的絲網(wǎng)印刷、半導(dǎo)體封測等工藝技術(shù)均較為成熟，成本優(yōu)勢明顯。以此生產(chǎn)的產(chǎn)品融合了現(xiàn)有片式和MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的優(yōu)點，可在性能和成本上很好的滿足市場的需求。 |
