一種貼片式半導體氣體傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720382679.4 申請日 -
公開（公告）號 CN206648990U 公開（公告）日 2017-11-17
申請公布號 CN206648990U 申請公布日 2017-11-17
分類號 G01N27/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蘇靜文;祁明鋒;鄭世琦 申請（專利權(quán)）人 蘇州邁姆斯傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)葑亭大道598號2幢5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種貼片式半導體氣體傳感器，涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域。采用本實用新型的方案能獲得一種貼片式結(jié)構(gòu)的半導體氣體傳感器，因為其芯片采用貼片式裝配方式，可以在一個方向上最大限度減小尺寸，且能夠更好地抵抗震動沖擊。另外，其生產(chǎn)涉及的絲網(wǎng)印刷、半導體封測等工藝技術(shù)均較為成熟，成本優(yōu)勢明顯。以此生產(chǎn)的產(chǎn)品融合了現(xiàn)有片式和MEMS半導體氣體傳感器的優(yōu)點，可在性能和成本上很好的滿足市場的需求。