一種具有溝槽源極場板的Trench MOSFET晶體管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220433435.1 申請日 -
公開（公告）號 CN202758892U 公開（公告）日 2013-02-27
申請公布號 CN202758892U 申請公布日 2013-02-27
分類號 H01L29/417(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王新;朱懷宇 申請（專利權）人 成都瑞芯電子有限公司
代理機構 成都行之專利代理事務所（普通合伙） 代理人 譚新民
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)世紀城南路216號天府軟件園D區(qū)6號樓14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種具有溝槽源極場板的TrenchMOSFET晶體管，從下往上依次包括漏極（213）、襯底（200）、漂移區(qū)（201）及源極（212）；漂移區(qū)（201）設有若干深溝槽（202），深溝槽（202）內設有溝槽源極場板（204），溝槽源極場板（204）兩側的深溝槽（202）內設有厚氧化層（203），溝槽源極場板（204）兩側的厚氧化層（203）上各設有一個柵極（206），柵極（206）與深溝槽（202）的內壁之間設有柵極氧化層（205）。通過本實用新型能增強晶體管的耐壓能力，同時獲得更快的開關速度、更小的損耗。