一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110012866.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112834911A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112834911A 申請公布日 2021-05-25
分類號 G01R31/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 尹鵬躍;張水英 申請（專利權(quán)）人 上海燧原智能科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)業(yè)盛路188號A-522室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。其中，該方法包括：根據(jù)芯片中的待測試鏈路的仿真模型，確定待測試鏈路的標準電阻；根據(jù)電遷移仿真測試過程中的多組仿真測試數(shù)據(jù)確定待測試鏈路的失效時間計算公式；確定與待測試鏈路對應的多組電遷移測試條件；控制電遷移測試系統(tǒng)對與待測試鏈路對應的電遷移測試樣品進行電遷移測試，得到與各組電遷移測試條件對應的測試樣品失效時間；根據(jù)各組電遷移測試條件中的預期失效時間與所對應的測試樣品失效時間的比對結(jié)果，確定待測試鏈路的電遷移測試結(jié)果。本發(fā)明實施例可以對芯片中的鏈路進行電遷移測試，確定芯片中各鏈路的整個鏈路結(jié)構(gòu)的電遷移實際情況。