一種晶圓片位錯(cuò)圖像采集裝置及其采集方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110577927.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113298068A | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113298068A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | G06K9/20;G01B11/06 | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 康鴻明;林志鵬;林文垚;盧甲貞;陳靖世 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廈門彼格科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 張松亭;吳曉梅 |
| 地址 | 361000 福建省廈門市集美區(qū)集美大道1300號(hào)廈門產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院（創(chuàng)新大廈）11層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓片位錯(cuò)圖像采集裝置及其采集方法，采集裝置包括機(jī)臺(tái)、支撐件、控制終端、圖像顯示器、位于支撐件上方并能相對(duì)支撐件上的晶圓片平行相對(duì)運(yùn)動(dòng)的距離采集單元、位于支撐件上方并能相對(duì)支撐件上的晶圓片平行相對(duì)運(yùn)動(dòng)且能相對(duì)支撐件上的晶圓片垂直相對(duì)運(yùn)動(dòng)的圖像采集單元，距離采集單元、圖像采集單元、圖像顯示器均與控制終端電性連接。通過該采集裝置實(shí)現(xiàn)晶圓盤上單點(diǎn)及多點(diǎn)、全片的全自動(dòng)位錯(cuò)圖像采集，無需人工參與，避免晶圓片在采集過程中損害，提高晶圓片位錯(cuò)圖像的采集效率及晶圓片的檢測(cè)效率。 |
