一種集成壓力傳感器和濕度傳感器的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111252209.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114136503A 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN114136503A 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) G01L1/14（2006.01）I;G01N27/22（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳果;劉正波;唐誠;吳世海;鮑義東;王江 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 貴州航天智慧農(nóng)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽中新專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 李龍
地址 550025貴州省貴陽市貴陽國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金陽科技產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)廠房輔助用房B519室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種集成壓力傳感器和濕度傳感器的方法，該方法是在SOI晶圓襯底上生長一層金屬薄膜，作圖案化形成類多角星型壓力敏感膜，該壓力敏感膜的內(nèi)角處應(yīng)變最大，外角中部與敏感膜中心之間的區(qū)域應(yīng)變最小，接著沉積一層SiO2作為溫度補(bǔ)償層,再沉積一層導(dǎo)電金屬Al，用于連接金屬底電極和叉指換能器，并在這層導(dǎo)電金屬Al作圖形化作出測濕用的濕敏叉指結(jié)構(gòu)，濕敏叉指結(jié)構(gòu)布置于外角與敏感膜中心之間的區(qū)域。以解決目前將壓力傳感器和濕度傳感器傳感器如何有效地集成在同一芯片上，并且避免兩種傳感器之間會(huì)互相影響互相干擾仍是一大難題，體積結(jié)構(gòu)方面也不夠小巧的問題。屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。