一種用于蒸鍍設(shè)備的基板承載裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021334014.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN213113482U 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號(hào) CN213113482U 申請公布日 2021-05-04
分類號(hào) C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張志宏;卞徐龍;卞小通;卞榮偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇三房巷薄膜股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫燕波
地址 214423 江蘇省無錫市江陰市周莊鎮(zhèn)海倫路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于蒸鍍設(shè)備的基板承載裝置，涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括一組滑移架，滑移架內(nèi)固定有雙向絲桿機(jī)構(gòu)，兩滑移架之間的兩端均傳動(dòng)連接有拉持組件，拉持組件一側(cè)設(shè)有夾持組件，夾持組件包括L形板，L形板頂部并排固定有若干橫板。本實(shí)用新型通過設(shè)置一組夾持組件能夠夾持基板本體和掩膜板的兩側(cè)，通過滑移架、雙向絲桿機(jī)構(gòu)和拉持組件的配合能夠調(diào)節(jié)兩個(gè)夾持組件之間的距離，從而能夠拉緊基板本體和掩膜板，同時(shí)在拉持組件和夾持組件之間設(shè)置直桿、彈簧、墊環(huán)和滑動(dòng)套，能夠保證兩個(gè)拉持組件之間的拉持力，解決了現(xiàn)有的承載結(jié)構(gòu)不利于基板和掩膜板平整固定的問題。