一種納米壓印翻模機(jī)工裝治具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022488650.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213149471U | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請公布號 | CN213149471U | 申請公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號 | G03F7/00(2006.01)I;H01L33/20(2010.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 史偉言;彭艷亮;張磊;李京波;劉建哲;徐良 | 申請（專利權(quán)）人 | 黃山博藍(lán)特光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蕪湖眾匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 曹宏筠 |
| 地址 | 245000安徽省黃山市屯溪區(qū)九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種納米壓印翻模機(jī)工裝治具，包括硬模板，設(shè)置在硬模板上可上下浮動的環(huán)形擋圈，設(shè)置在硬模板上方用于取出軟模板的取料盤；所述環(huán)形擋圈的外側(cè)設(shè)置有一圈沿環(huán)形擋圈半徑方向來回移動的離子風(fēng)擴(kuò)散裝置，所述離子風(fēng)擴(kuò)散裝置的內(nèi)側(cè)壁上均勻設(shè)置有離子風(fēng)出風(fēng)孔，在離子風(fēng)擴(kuò)散裝置內(nèi)設(shè)置有與離子風(fēng)出風(fēng)孔連通的主進(jìn)風(fēng)道及與主進(jìn)風(fēng)道連通的進(jìn)風(fēng)口；還設(shè)置有帶動離子風(fēng)擴(kuò)散裝置移動的驅(qū)動裝置。本實(shí)用新型通過等離子風(fēng)消除軟膜表面的靜電，減少軟模板表面的顆粒和表面納米級尺寸粘連，從而保證軟模板的清潔度，滿足高精度加工的要求，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。?? |
