一種用于探測器讀出芯片平行度校準(zhǔn)的方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110980095.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113720276B 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN113720276B 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01B11/26（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蔣杰臣;孫亮;姜維春;徐玉朋;何會林;劉小樺;李鮮;杜園園;楊生;劉曉靜;楊家衛(wèi);董澤芳 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院高能物理研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京君尚知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100049北京市石景山區(qū)玉泉路19號乙
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于探測器讀出芯片平行度校準(zhǔn)的方法及系統(tǒng)。本方法為：1）將芯片模塊固定在三維影像測量儀上；2）在芯片模塊上確定出芯片的安裝位置；3）在芯片模塊的陶瓷邊框上選擇N個點(diǎn)，芯片上表面選擇M個點(diǎn)；4）導(dǎo)出各所選點(diǎn)的三維坐標(biāo)到數(shù)據(jù)處理單元，生成陶瓷邊框的擬合面；5）以擬合面作為基準(zhǔn)面，計算出芯片上每一所選點(diǎn)相對于基準(zhǔn)面的距離；6）如果芯片上各所選點(diǎn)相對于該基準(zhǔn)面的距離均為正值或負(fù)值，則找出一距離絕對值最小值，將芯片上各所選點(diǎn)對應(yīng)的距離與該最小值的差值，作為對應(yīng)點(diǎn)需要調(diào)節(jié)的幅度值；否則找出距離大于0的點(diǎn)中最大距離值，將芯片上各所選點(diǎn)對應(yīng)的距離與該最大距離的差值，作為對應(yīng)點(diǎn)調(diào)節(jié)的幅度值。