一種拉晶尾部控制方法及系統(tǒng)、計算機存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010746893.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111910245B 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN111910245B 申請公布日 2021-10-22
分類號 C30B15/22 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李宗飛;錢龍;譚明科;白喜軍;劉永生 申請（專利權(quán)）人 華坪隆基硅材料有限公司
代理機構(gòu) 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勝利
地址 674800 云南省麗江市華坪縣石龍壩鎮(zhèn)清潔載能產(chǎn)業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種拉晶尾部控制方法及系統(tǒng)、計算機存儲介質(zhì)，涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，以實現(xiàn)拉晶尾部工藝自動化，提高生長晶棒的品質(zhì)。該拉晶尾部控制方法包括：接收當(dāng)前晶段生長關(guān)聯(lián)參數(shù)和當(dāng)前工步關(guān)聯(lián)參數(shù)；根據(jù)當(dāng)前工步關(guān)聯(lián)參數(shù)，確定當(dāng)前生長晶段的晶段段數(shù)；根據(jù)晶段段數(shù)從預(yù)設(shè)關(guān)系中確定當(dāng)前晶段對應(yīng)的目標(biāo)生長關(guān)聯(lián)參數(shù)；預(yù)設(shè)關(guān)系為各個晶段的目標(biāo)生長關(guān)聯(lián)參數(shù)與晶段段數(shù)的對應(yīng)關(guān)系；確定當(dāng)前晶段生長關(guān)聯(lián)參數(shù)滿足目標(biāo)生長關(guān)聯(lián)參數(shù)的情況下，若晶段段數(shù)小于預(yù)設(shè)段數(shù)，控制拉晶設(shè)備進(jìn)行當(dāng)前晶段收尾作業(yè)；若晶段段數(shù)等于預(yù)設(shè)段數(shù)，控制拉晶設(shè)備進(jìn)行停爐作業(yè)。所述系統(tǒng)用于執(zhí)行所述拉晶尾部控制方法。本發(fā)明提供的拉晶尾部控制方法用于晶體生長。