一種激光檢測晶片應(yīng)力裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810745136.3 申請日 -
公開（公告）號 CN108801610A 公開（公告）日 2018-11-13
申請公布號 CN108801610A 申請公布日 2018-11-13
分類號 G01M11/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱中曉;朱超 申請（專利權(quán)）人 北京石晶光電科技股份有限公司濟源分公司
代理機構(gòu) 北京中濟緯天專利代理有限公司 代理人 北京石晶光電科技股份有限公司濟源分公司
地址 459000 河南省焦作市濟源市科技工業(yè)園區(qū)石晶光電濟源分公司(豐田路南端)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種激光檢測晶片應(yīng)力裝置，主要針對人造光學石英晶體拋光片。它包括激光光源、目鏡、成像板、可調(diào)支具座組成，優(yōu)點在于使用激光光源，借助放大目鏡和成像板，組成成像光路系統(tǒng)。利用光的直射和散射、光學石英晶體雙折射特性的原理，一定光強的激光束照射晶體拋光片后，通過目鏡放大并將內(nèi)部質(zhì)量狀態(tài)放大投影在成像板上，能快速、準確地對人造光學石英晶體拋光片的應(yīng)力狀況在成像板上進行檢測和判斷，實現(xiàn)了非接觸式檢測，直觀地達到了檢測效果，克服了自然光下無法檢測的弊病。