一種控制導(dǎo)向管縱向長(zhǎng)度的真空蒸鍍?cè)O(shè)備及其控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810765737.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108823536B 公開(kāi)（公告）日 2020-07-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN108823536B 申請(qǐng)公布日 2020-07-03
分類號(hào) C23C14/24;C23C14/54 分類 -
發(fā)明人 韓斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州亮磊知識(shí)產(chǎn)權(quán)運(yùn)營(yíng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 紹興市寅越專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 紹興欣耀機(jī)電科技有限公司;蘇州亮磊知識(shí)產(chǎn)權(quán)運(yùn)營(yíng)有限公司
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)福全街道勝利村畈里張389-1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種控制導(dǎo)向管縱向長(zhǎng)度的真空蒸鍍?cè)O(shè)備及其控制方法，其中，真空蒸鍍?cè)O(shè)備包括第一蒸鍍腔、設(shè)置于第一蒸鍍腔內(nèi)的第一蒸發(fā)源以及基板，還包括氣壓傳感器、單片機(jī)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)及設(shè)置在基板下方且覆蓋基板的蒸鍍面的管陣，管陣由若干導(dǎo)向管組成，氣壓傳感器與導(dǎo)向管的數(shù)量相同，導(dǎo)向管包括固定管以及套設(shè)在固定管內(nèi)部的活動(dòng)管，固定管內(nèi)設(shè)置有用于控制活動(dòng)管沿著導(dǎo)向管的軸向水平移動(dòng)的控制裝置，氣壓傳感器設(shè)置在固定管的開(kāi)口處且與單片機(jī)連接，單片機(jī)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)與控制裝置連接；本發(fā)明使原材料均勻在基板上鍍膜，并且避免原材料蒸鍍到蒸鍍腔壁，提高原材料利用率。