一種具有斷軸監(jiān)控功能的去膠裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920633439.6 申請日 -
公開（公告）號 CN209708954U 公開（公告）日 2019-11-29
申請公布號 CN209708954U 申請公布日 2019-11-29
分類號 H01L21/67（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 翁林 申請（專利權(quán)）人 中國農(nóng)業(yè)銀行股份有限公司無錫科技支行
代理機構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無錫宇邦半導(dǎo)體科技有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路52號樂東大廈內(nèi)1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種具有斷軸監(jiān)控功能的去膠裝置，包括底板，底板上端面設(shè)置有支撐板，第一支撐板頂部連接有去膠腔體，托環(huán)軸桿由去膠腔體底部穿出；第一支撐板下端內(nèi)側(cè)面設(shè)置有步進馬達(dá)，其電機軸通過聯(lián)軸器連接有第一絲桿，上端連接有第一滑塊，托環(huán)軸桿下端外側(cè)與第一滑塊連接，內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一感應(yīng)器擋片；第二支撐板內(nèi)側(cè)面設(shè)置有第二絲桿，第二絲桿下端與電機軸同步傳動連接，上端連接有第二滑塊，第二滑塊內(nèi)側(cè)面設(shè)置有第二感應(yīng)器擋片；去膠腔體下端面設(shè)置有固定桿，固定桿上設(shè)置有下降位置感應(yīng)器和上升位置感應(yīng)器。本實用新型提供的具有斷軸監(jiān)控功能的去膠裝置，能夠及時發(fā)現(xiàn)聯(lián)軸器斷裂情況并進行停機處理，保護晶圓安全，降低生產(chǎn)損失。