一種面板缺陷檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110958739.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113533351A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113533351A 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) G01N21/88;G01N21/958 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊朝興 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 侯軍洋
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)華佗巷469號(hào)品恩科技園1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種面板缺陷檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。其中裝置包括光源模塊、分束模塊、聚焦模塊、光闌模塊、成像模塊及處理模塊，光源模塊包括多個(gè)平行設(shè)置的線狀光源，光闌模塊包括多個(gè)平行設(shè)置的透光區(qū)；線狀光源用于出射檢測(cè)光線，檢測(cè)光線經(jīng)過(guò)分束模塊后入射至聚焦模塊，聚焦模塊用于將檢測(cè)光線匯聚在待測(cè)面板的表面，返回的光線經(jīng)過(guò)分束模塊后入射至與線狀光源共軛的透光區(qū)；成像模塊的感光面朝向透光區(qū)，用于將接收到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；處理模塊與成像模塊電連接，用于根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)面板的表面缺陷。本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，可以降低面板缺陷檢測(cè)裝置對(duì)于面板背部污染和支撐桿接觸區(qū)的誤檢率，有效提高面板生產(chǎn)檢測(cè)的速度。