一種表面缺陷的檢測系統(tǒng)及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110958746.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113533352A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113533352A 申請公布日 2021-10-22
分類號 G01N21/88（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 倪賽健 申請（專利權）人 合肥御微半導體技術有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 侯軍洋
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)華佗巷469號品恩科技園1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種表面缺陷的檢測系統(tǒng)及檢測方法，檢測系統(tǒng)包括光源、光路切換模塊、分光模塊、探測模塊和處理模塊；設置光路切換模塊包塊光闌和遮光板，探測模塊根據處理模塊的光路切換信號控制光闌或遮光板位于檢測光束的傳播路徑上，以使檢測光束透過光闌形成明場檢測光束；或者，控制遮光板遮擋檢測光束形成暗場檢測光束；設置分光模塊反射明場檢測光束和暗場檢測光束至待測物表面以及透過經待測物表面反射的明場檢測光束和暗場檢測光束至探測模塊；探測模塊采集待測物的明場圖像和暗場圖像；處理模塊根據眀場圖像和/或暗場圖像檢測待測物的表面缺陷。本發(fā)明實現(xiàn)僅用一套光源和探測模塊采集圖像，系統(tǒng)結構簡單，成本低。